sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點是，有較高的放大倍數(shù)，萬倍之間連續(xù)可調(diào)；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡單。它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
sem掃描電鏡SEM的原理：能顯示各種圖像的信息是由于聚焦的電子束與樣品的相互作用而產(chǎn)生的各種信號。相互作用區(qū)的線性體積：隨原子序數(shù)的增加而減小；隨電子束能量的增加而增加；電子束與樣品的角度關(guān)系是傾斜角增加時，相互作用區(qū)變小。
樣品的成分、加速電壓都影響相互作用區(qū)，一般情況下，相互作用區(qū)比束斑大，每種信號從固體發(fā)出的空間范圍，是決定掃描圖像空間分辨能力的重要因素。sem掃描電鏡在材料領(lǐng)域的具體應(yīng)用：
1.材料表面形貌的觀察：通過掃描電子顯微鏡我們可以觀察材料的表面形貌。
2.斷口形貌的觀察：通過掃描電子顯微鏡我們可以進(jìn)行材料的斷口形貌的觀察，借助掃描電鏡分析斷口的破壞特征、零件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及缺陷,從而判斷零件損壞的原因。
3.微區(qū)化學(xué)成分分析：在樣品的處理過程中，有時需要提供包括形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu)或位向在內(nèi)的豐富資料，以便能夠更全面、客觀地進(jìn)行判斷分析。為此，相繼出現(xiàn)了掃描電子顯微鏡—電子探針多種分析功能的組合型儀器。掃描電子顯微鏡如配有X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件，可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息。
