智能型鎢燈絲掃描電鏡和場發射掃描電鏡的區別分析

　　智能型鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
 

　　智能型鎢燈絲掃描電鏡和場發射掃描電鏡的區別如下：
 

　　1、點源直徑不同及優劣
 

　　鎢燈絲掃描電鏡電子槍陰極使用0.1mm直徑的鎢絲制成V極)，使用V形的作為點發射源，曲率半徑大約為0.1mm;場發射掃描電鏡電子槍陰極使用0.1mm直徑的鎢絲，經過腐蝕制成針狀的尖陰極，一般曲率半徑在100nm~1μm之間。由于制作工藝上的差異，造價不同，發叉式鎢絲陰極便宜，場發射陰極很貴。
 

　　2、發射機制不同和優劣
 

　　鎢燈絲掃描電鏡屬于熱發射，在燈絲電極加直流電壓，鎢絲發熱，使用溫度一般在2600K~2800K之間，鎢絲有很高的電子發射效率，溫度越高電流密度越大，理想情況下的的電子槍亮度越高。由于材料的蒸發速度隨溫度升高而急劇上升，因此鎢燈絲的壽命比較短，一般在50~200小時之間，這個和設定的燈絲溫度有關。由于電子發射溫度高，發射的電子能量分散度大，一般2ev，電子槍引起的色差會比較大。