FEI掃描電鏡

產品介紹

FEI掃描電鏡Prisma E SEM是一款高度靈活的掃描電子顯微鏡(SEM)，在各種條件下都能有出色的*性能。基于其低真空和環境掃描的SEM (ESEM)模式，它具備分析不導電，含氣體、水分或其它非常規測試的樣品。Prisma E SEM的高度靈活性、便捷使用性以及對樣品的寬泛適用性，是多用戶實驗室的理想選擇。

發射源：鎢燈絲（高性能電子光學鏡筒，雙陽極熱發射電子槍）

分辨率：

高真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）

低真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；4.0 nm@ 3kV（BSE）；10nm@ 3kV（SE）

環境掃描模式成像 3.0nm@ 30kV（SE）

放大倍數：5 ~ 1,000,000×（寶麗來相紙放大）

加速電壓范圍：200V ~ 30kV

探針電流范圍：可高達到2μA，連續可調；

低真空范圍：高達130Pa；

ESEM真空范圍：高達2600Pa（H2O）/4000Pa（N2）；

X-Ray工作距離：10mm，EDS檢出角35°

樣品室：從左至右為340mm寬的大存儲空間，樣品室可拓展接口數量12個，含能譜儀接口3個（其中2個處于180°對角位置）

樣品臺：五軸優中心全自動馬達驅動

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o （連續旋轉）

多用途SEM樣品安裝載物臺，可同時放置 18 個標準樣品座（φ12mm）

大樣品高度不低于200mm

大樣品承重 5 kg

探測器系統：

高真空二次電子探測器ETD

樣品室內IR紅外相機CCD

低真空二次電子探測器LVD

氣體二次電子探測器GSED（環境真空）

控制系統：

操作系統：Windows 10

圖像顯示：24寸LCD顯示器，顯示分辨率1920×1200

支持用戶自定義的GUI，可同時實時顯示4幅圖像

軟件支持Undo和Redo功能

FEI掃描電鏡(SEM)特點與用途：

☆ 方便快捷的加載多種樣品和重樣品；

☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相機和蒙太奇導航功能簡化樣品導航；

☆ 便捷性的用戶指南和撤消功能；

☆ 優良的掃描模式和電子束減速確保圖像質量；

☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技術下進行直觀的元素分析；

☆ 真空模式，具備強大的樣品兼容性；

☆ *的環境掃描模式能夠在材料的自然狀態下成像；

☆ 可集成冷/熱臺進行易于控制的動態實驗；

☆ 廣泛選擇的探測器和附件，包括掃描透射電 (STEM)，陰極發光，圖像拼接等